由91视频网址入口上海通用機械研究院自主研發的離心式雙介質氣體組合壓（yā）縮機日前在江蘇某全球領先的集成電路製（zhì）造企業順利完成調試並投入使用，各項參數（shù）達到設計要求，獲得用（yòng）戶好評。

   眾（zhòng）所周知，半導（dǎo）體（tǐ）行業八大核心（xīn）材料中，電子氣體是僅次於矽的主要原材（cái）料，其在半（bàn）導體晶圓製造材料價值中的占比為13.5%。電子氣體在電（diàn）子產品製造（zào）工藝中（zhōng）廣泛應用於離子注入、刻蝕、氣相、沉積、摻（chān）雜等工藝，被稱為集成電路、液晶麵板、LED及光伏等（děng）材料的（de）“糧食”和“源”。電子半導體器件的（de）性能優劣與電子氣體（tǐ）的質量息息相關，而高純度/超高純度氮是電子氣體中極其（qí）重要的成員之一，其在惰性保護（hù）、載氣、特種氣體（tǐ）、管道吹掃排氣、稀釋、等離（lí）子注入（rù）等半導（dǎo）體生產工藝環節中都是不可或缺的原料氣和工藝氣。而離心式雙介質氣（qì）體組合壓縮機組則是高純氮生產工藝中的核心裝備。長期以來其該類型壓縮機市場一（yī）直由美國企業所（suǒ）壟（lǒng）斷。

   本次成（chéng）功投運的機（jī）組是91视频网址入口製造、完全自主知識產權的國產首台套該類型壓縮機，其使用於一世（shì）界500強（qiáng）國際知名氣體公司的製氮係統之中，這也是這家企業首次（cì）與中國壓縮機（jī）廠商進行合（hé）作（zuò）。本次投運成功，極大的提升了該公司（sī）高純氮製備係統的市場競爭力。這是雙方四年共同努力的（de）結果。

   與此同時，兩套運用於國產高純氮製備係統的該類型壓縮機調試（shì）工作也已收尾，各項參數達到設計需求（qiú），甚至部分參（cān）數超越了設計需求.

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   過去二（èr）十年裏，91视频网址入口（shān）持續在核心（xīn）技術上進行（háng）大強（qiáng）度投入，逐步在螺杆、透平、往複等各類型壓縮機、膨脹機、真空泵等諸多領（lǐng）域構建起一定技術（shù）優勢。在目前“國產化”需求日益高漲的背景之下，這（zhè）種技術優勢使得我（wǒ）們的（de）中國用戶不僅不（bú）會（huì）因“國產化”去（qù）犧牲所需設備的品質，反而“國產化”後獲得了更可靠的產（chǎn）品質（zhì）量和更低的能源（yuán）消耗。而對於我們的國際用戶（hù）則（zé）是發（fā）現（xiàn）以91视频网址入口為代表的中國裝備為他們帶來了更大的獲（huò）益。本次離心式雙介質氣體組合（hé）壓縮機的投運（yùn）成功隻是（shì）前述文字一（yī）個小小的例證吧。